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2微电子机械系统的发展历程
微机械器件以及微电子机械系统在生产加工的过程中需要对其深加工技术进行研究和重视。在研究中开始逐渐的形成了微电子加工技术和微机械装置加工技术。并随着对技术的细分，开始形成了体微机械技术以及外轮廓表面微机械装置技术，并同时也产生了LIGA机械装置技术以及高标准的LIGA机械装置技术。对其体微机械技术按照实施的目标对象机械能分析，可以得出体硅单晶体为核心构成体并在其物理测量厚度的10到999单位内呈现规则布局分离，为其核心的技术策略单位。并对其技术中存在的腐蚀以及吻合问题进行布局的考虑。对其技术的优势分析得出，其装置的工艺相对不繁琐，但其操控性和调控性数值偏低。在表面微机械装置中，进行相应的IC技术加工，如采用扩散光学和标准尺寸对应光刻以及复膜层叠等技术运用中，其都会对原有的厚度比率进行微调，对其在剥离技术中和进行切割技术的分析[1]。其技术的有点在于对IC技术有相对完整的包容性，但存在的不足点也较为显著，如切割的纵向厚度单位偏低，在电光铸模和缩微成型以及耐温差等方面存在一定的技术局限。LIGA技术在德文X射线进行曝光和电光铸模中有其良好的优越性，其对设备的制取尺寸在1单位内到999单位内。但需要指出LIGA技术处于高成本和高复杂度的技术，并需要采用相对保守的紫外线深度曝光，保障其光刻效果和覆膜效果。而准LIGA技术在对设备加工中可以在最合理控制尺寸中，保障其电路集成后续装置获得合理的配置[2]。因而其技术的优势在微机械技术中可以获得关注度的展现。
2.1自动对焦的三维加工技术
目前自对准的准三维加工技术普遍采用深度的紫外线厚度型进行光度的曝光刻度，并进行胶模的处理，保证其在牺牲层和结构层获得合理的电铸，并利用其两层的金属电铸特带你，获得牺牲层厚度的保障，并进行微结构的自动对准技术保障[3]。
因而CU可以表示为牺牲层，NI为结构层的技术，并在其平面和垂直两方向性获得控制，在其CU和NI中进行电铸处理，使得其种子层和型模层获得两种电铸金属处理，让技术水平在微架构层面获得统一标准化套准对应。在其腐蚀性选择上要对其液体进行考虑，CI属于腐蚀性，NI不属于腐蚀性，并对其微机械机构进行终止惰性反应。其配套技术以及Ic工艺获得最大化的包容，在温度上控制在85摄氏度，获得对结构合理的微机械技术。其深度的单位测定在22，保障其后续的标准对应后其范围空载在49到101内。
准LIGA技术需要在工艺布局考虑中，首先要保障（a）低阻硅片（10-3cm），其热氧化反映在1.5，其厚度在SIO2其需要把定子对衬低的外圆位置进行确定。同时进行首次的光学刻，SIO2腐蚀出进行1.2各坑道处理。形成在转子下部的新支撑点确定。在除去胶缘后，在真空中进行高温处理形成0.3的铜电铸种子层。在第二次光学刻录中，要对尺寸厚光刻胶AZ4620进行转子胶模处理，保障其电光铸在3内进行转子保障。后进行第三次的光刻，在其厚度尺寸中选择光学刻录定子胶模处理，保障其厚度在2.5范围内。形成铜牺牲层的转子和钉子的转化变化，对其空隙中要包容其电铸在1.5钉子范围。在最后一次光刻中，要对其厚胶光学刻录后，对其1.3铜都牺牲层要进行间隙转化的电铸考虑。并用起腐蚀性的液进行HF缓冲液体的处理，通过SIO2合理的释放转化的转子。其微机械技术在应用中可以获得广泛的推崇，静电驱动镍晃动微马达为例，其自对准的准三维加工技术目前在实际应用中哥已经获得镍晃动马达。用电铸Cu作牺牲层，电铸Ni作结构层（定子、转子和轴），得到的转子与定子。各项参数都符合标准。
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授权批准控制要求单位明确规定涉及会计及相关工作的授权批准的范围、权限、会计程序、责任等内容，会计论文单位内部的各级管理层必须在授权范围内行使职能和承担责任，经办人员也必须在授权范围内办理业务。在手工会计系统中，对于一项经济业务的每个环节都要经过具有相应权限人员的签字或盖章。但在电算化会计信息系统中，业务人员可利用特殊的授权口令，获得某种权利或运行特定的程序进行业务处理，由此引起失控而造成损失的案例数不胜数。
（二） 电算化会计信息系统改变了会计核算的环境
随着远程通讯技术的发展，会计信息的网上实时处理成为可能，业务事项可以在远离企业的某个终端机上瞬间完成数据处理工作，原先应由会计人员处理的有关业务事项，现在可能集中在一个部门甚至一个人完成，因此要保证企业财产物资的安全完整，保证会计系统对企业经济活动反映的正确和可靠，达到企业管理的目标，内部会计控制制度的范围和控制程序较之手工会计系统更加广泛、更加复杂。
（三） 内部会计控制的程序化使得内部会计控制具有一定的依赖性并增加了差错反复发生的可能性，电算化系统中内部会计控制具有人工控制和程序控制相结合的特点。电算化系统许多应用程序中包含了内部控制功能，这些程序化的内部控制的有效性取决于应用程序，如程序发生差错或不起作用，由于人们依赖性以及程序运行的重复性，使得失效控制长期不被发现，从而使系统在特定方面发生错误或违规行为的可能性较大。
（四）在电算化会计系统中，会计和财务的业务处理方法和处理程序发生了很大变化，各类会计凭证的生成方式，会计信息的存储方式和储存媒介也发生了很大变化，原先反映会计和财务处理过程的各种原始凭证、记账凭证、汇总表等作为基本会计资料的书面形式资料减少了，有些甚至消失了，原来在核算过程中进行的必要的核对、审核等工作有相当一部分变为由计算机自动完成了，原来书面形式的各类会计凭证转变为以文件、记录形式储存在存储介质上，因此必须要求确保系统网络安全，确保备份安全，确保硬件设备安全。
二、电算化会计信息系统条件下内部会计控制的特殊形式和实施
（一）操作系统控制
操作系统作为一个计算机系统的核心部分，其主要职责是对计算机系统中所有软件和硬件的资源进行管理、调度与分配。在计算机内部会计控制中，操作系统控制的目标是在可靠保证系统资源程序的处理和利用效率的基础上，有效执行系统控制的安全管理策略，以抵御和防范各种偶然或人为的系统入侵或资源破坏。主要有几个方面。
资源保护。该保护策略主要表现为根据会计控制工作的制度和特点，利用操作系统提供的系统访问控制功能对有关的系统工作人员的操作和数据访问等方面的设置与控制，从而对会计控制工作的操作独立性和数据保密性等到方面提供相应的安全保证。
岗位隔离：岗位隔离是操作系统的资源保护功能在计算机会计内部控制系统中的延伸，其本质是，通过操作系统的用户管理和资源保护机制，使得具有工作职责和工作权限的会计控制人员只能执行自己相应职权范围内的模块，此外，经过合理的设置操作系统的用户认证和管理机制，还能够实现对用户进入系统进行操作的过程和状态进行记录，从而实现会计内部控制工作的监督和管理职能。
灾难防护：灾难防护本质上也属于计算机安全的范畴。该策略的实施反映到计算机会计控制工作中主要包括：病毒防护和故障恢复两个方面。
病毒防护是利用操作系统提供的系统资源保护和控制功能来实施有关的病毒防护处理，而故障恢复控制的作用是保证计算机会计控制系统在遇到诸如停电等环境故障时能够维持会计信息系统中的应用和数据资源的完整。
（二）数据资源控制
计算机会计信息系统中的数据控制主要通过系统中数据库管理系统提供的数据信息控制管理机制实现和实施。
完整性控制：计算机会计系统的完整性控制主要通过现代数据库管理系统的完整性控制机制来实现。当前，一个功能完善的数据库管理系统都能够对其管理的数据库中的数据，在逻辑关系上提供语义参照关系机制来检验和保证数据库存系统中的有关数据在进行了相关控制应用操作后仍然保持逻辑上的语义完整。
数据加密：数据加密策略的实施主要通过数据库管理系统的数据加密和存放功能实现，其作用不仅维持了数据信息的保密，而且使得合法操作人员只能通过系统规定的程序实施操作和控制活动。
数据备份：数据备份控制的实施过程为，管理和存储信息的计算机数据库管理系统，根据会计系统的数据处理特点与要求，定期将系统中的关键数据从系统中的硬盘设备中，转存或备份至可以长久保存的存储设备中，比如光盘、移动硬盘。
（三）组织结构控制
在手工会计系统中，企业的财务部门一般主要从组织形式和组织程序上实行岗位控制，其中，组织形式控制是通过财务部门按经济业务的性质分为几个不同的职能组来实现相互牵制和相互监督的控制作用，而组织程序则是通过账账核对、账证核对、账实核对、财物核对以及会计主管对凭证、账簿和报表的审核制度来实现处理的合理性与合法性。
在引入了计算机等先进的信息处理控制技术与工具之后，尽管计算机会计系统运作的主要原则没有改变，但是计算机内部会计控制的过程与方法上的许多变化与发展，使得实施计算机会计控制的企业或组织也必须相应的在组织机构、工作条件和管理制度等方面有所变化，从管理和控制功能的角度看，计算机会计系统中的组织结构控制主要包括部门设置、运作协调和监督管理等三个方面。
部门设置：由于引进了基于计算机的信息处理控制技术和处理工具，根据系统中操作人员任务和目标，计算机会计系统可以根据系统运作的特点与要求，将有关人员分别划分到岗位和职能相对独立的不同部门或工作小组中，例如，根据所担当的角色与任务，在企业或组织中设置：系统开发、系统维护和会计操作等几个相应的职能工作部门。
运作协调：运作协调的主要作用是在明确了各职能组织部门的职责与处理范围的基础上，建立和执行各部门协调处理和控制的规章与制度，以保障控制处理工作的顺利进行。
监督管理：监督管理控制的作用则是在明确各职能组织部门有关人员的工作责任与处理范围的基础上，建立和执行工作完成情况的监督与考核制度，以保障会计控制工作能够高质量的进行和完成。
